特征X射线

用于材料微区成分定性和定量分析
当入射电子与原子的内层电子发生非弹性散射，将能量转移至该内层电子并使其脱离原子束缚变为自由电子，此时原子处于高能量的不稳定态，产生X射线，能量为两个电子层之间的能量差
特征X射线能量 $E$ 与原子序数 $Z$ 之间的关系服从莫塞莱定律